Sistema de tratamento úmido para wafers
Robotechnik Europe OPTIwet ST30

Name: Robotechnik Europe OPTIwet ST30
Brand: Robotechnik Europe
Availability: InStock

Condição

Usado

Localização

Alemanha

Sistema de tratamento úmido para wafers Robotechnik Europe OPTIwet ST30

Mostrar mapa

Dados da máquina

Descrição da máquina:: Sistema de tratamento úmido para wafers

Fabricante:: Robotechnik Europe

Modelo:: OPTIwet ST30

Condição:: pronto a usar (usado)

Preço e localização

Localização:: Deutschland

Ligar

Detalhes da oferta

ID do anúncio:: A20618495

Nº de referência:: INNO30389

Última atualização:: em 26.11.2025

Descrição

Sistema para tratamento químico úmido de wafers até 12 pol., substratos até X/Y 9 pol./9 pol., gabinete autônomo, módulos de processo, câmara de processo em PP, 2 braços de mídia programáveis, velocidade de rotação 1-4000 rpm, rampa de aceleração 1-3000 rpm, tempo de rotação 1-999 s, exaustão da cuba de processo 2x DN110, câmara 2x DN110, gabinete 1x DN110, controle 1x DN110 (cada 200 m³/h), CDA 8+/-2 bar, vácuo -0,8+/-0,2 bar, nitrogênio 4,0+/-0,5 bar, 3 drenagens de mídia, caixa de resíduos para 2 resíduos concentrados, caixa de reagentes com recipiente pressurizado, 4 banhos termostáticos Julabo. O sistema foi desmontado durante a remoção. Visita possível mediante acordo.
Ndodpfx Aexzii Ujamjd

O anúncio foi traduzido automaticamente e alguns erros de tradução podem ocurrer.