Sistema de tratamento úmido para wafersRobotechnik Europe
OPTIwet ST30
Sistema de tratamento úmido para wafers
Robotechnik Europe
OPTIwet ST30
Condição
Usado
Localização
Alemanha 

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Dados da máquina
- Descrição da máquina:
- Sistema de tratamento úmido para wafers
- Fabricante:
- Robotechnik Europe
- Modelo:
- OPTIwet ST30
- Condição:
- pronto a usar (usado)
Preço e localização
- Localização:
- Deutschland

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Detalhes da oferta
- ID do anúncio:
- A20618495
- Nº de referência:
- INNO30389
- Última atualização:
- em 26.11.2025
Descrição
Sistema para tratamento químico úmido de wafers até 12 pol., substratos até X/Y 9 pol./9 pol., gabinete autônomo, módulos de processo, câmara de processo em PP, 2 braços de mídia programáveis, velocidade de rotação 1-4000 rpm, rampa de aceleração 1-3000 rpm, tempo de rotação 1-999 s, exaustão da cuba de processo 2x DN110, câmara 2x DN110, gabinete 1x DN110, controle 1x DN110 (cada 200 m³/h), CDA 8+/-2 bar, vácuo -0,8+/-0,2 bar, nitrogênio 4,0+/-0,5 bar, 3 drenagens de mídia, caixa de resíduos para 2 resíduos concentrados, caixa de reagentes com recipiente pressurizado, 4 banhos termostáticos Julabo. O sistema foi desmontado durante a remoção. Visita possível mediante acordo.
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