Sistema Pfeiffer C590 PVD Evap.SputteringPfeiffer
C590
Dados da máquina
- Descrição da máquina:
- Sistema Pfeiffer C590 PVD Evap.Sputtering
- Fabricante:
- Pfeiffer
- Modelo:
- C590
- Condição:
- bom (usado)
Preço e localização
- Localização:
- Albert Plesmanstraat 3, 6021 PR Budel, NL
Detalhes da oferta
- ID do anúncio:
- A6899652
- Última atualização:
- em 28.12.2024
Descrição
2x Pfeiffer Classic 590 disponível!
Preço: EUR 99.500/peça.
Coater de configuração 1:
2x Pfeiffer TPH 2301 (2300ls) completamente revisado
Pfeiffer DCU 600
2x Válvula de estrangulamento VAT 64048-pe48-ads2/0001
1x Pfeiffer PKR251 sensor de gama completa
Pfeiffer TPR280 para pré-vácuo
Pré-bomba Pfeiffer DUO 120 (120m3/h)
Câmara de vácuo:
para tamanho de substrato redondo 840mm
incluindo o conjunto de blindagem e o conjunto de blindagem de reserva
2x viewport
Vários avanços
Alimentação rotativa incl. termopar
Aquecedor infravermelho
Válvulas Watermanifold plus
Válvulas de vácuo para a ventilação, etc
Notas: Actualmente utilizado para Evaporação por Resistência (não há barcos disponíveis)
O PLC e o E-cabinet atuais são removidos devido ao IP. Entretanto: se necessário, nossa empresa Orange Thin Films pode fazer uma reforma completa com automação Labview e novos processos (tais como Eeam-Sputtering-Evaporation etc)
Coater de configuração 2:
2x Pfeiffer TPH 2201 s p c (turbo horizontal 2200ls) completamente revisado
Pfeiffer DCU 600
2x Válvula de estrangulamento VAT 64048-pe48-ads2/0001
1x Pfeiffer PKR251 sensor de gama completa
Pfeiffer TPR280 para pré-vácuo
Pré-bomba Pfeiffer DUO 120 (120m3/h)
Câmara de vácuo:
para tamanho de substrato redondo 840mm
incluindo o conjunto de blindagem e o conjunto de blindagem de reserva
2x viewport
Gedohwv Tfopfx Agyjuh
Vários avanços
Alimentação rotativa incl. termopar
Aquecedor infravermelho
Válvulas Watermanifold plus
Válvulas de vácuo para a ventilação, etc
Notas: Corrente utilizada para Evaporação por Resistência (não há barcos disponíveis)
O PLC e o E-cabinet atuais são removidos devido ao IP. No entanto: se necessário ou
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